TMC-40 ELECTRONIC LIQUIDは、電気絶縁性に優れ熱的および化学的に安定した液体であり、冷媒用途のフッ素溶剤として、特に電子機器および半導体産業におけるテスター、CVD、TFT製造に最適です。
TMC-40は、無色透明、非導電性、不燃性、残留物のない、熱的および化学的に安定した液体であり、多くの冷媒用途フッ素溶剤として最適です。広い液温範囲（-57～165℃）と高い適合性により、エッチング装置、イオン注入装置、テスター、CVD、TFT製造などの半導体市場を含む、様々な電子機器の単相および二相熱伝達用途に適しています。TMC-40は沸点範囲が狭いため、組成の変化がほとんどなく、溶剤ロスを最小限に抑え、安定した輸送特性を保証します。
用途
- 誘電体槽
- 電子機器試験
- グロスリーク試験
- 冷媒
- 半導体冷却
- 熱衝撃試験
物理的特性の比較
| 特性 | 単位 | 3M™ FC-40 | TMC-40 | TMC-40E |
| タイプ | 旧製品 | 代替品 | 同等品 | |
| 形態 | 液体 | 液体 | 液体 | |
| 色 | 無色 | 無色 | 無色 | |
| 臭気 | 無臭 | 無臭 | 無臭 | |
| 沸点 | °C | 165 | 165 | 158 |
| 流動点 | °C | -57 | -57 | -55 |
| 密度 | kg/m3 | 1855 | 1855 | 1820 |
| 動粘度 | cSt | 2.2 | 2.2 | 3.18 |
| 蒸気圧 | psi | 0.05 | 0.04 | 0.0046 |
| 比熱 | J/kg-K | 1100 | 1100 | 1509 |
| 蒸発潜熱 | J/g | 69 | 69 | 130 |
| 熱膨張係数 | 1/°C | 0.0012 | 0.0012 | 0.0054 |
| 熱伝導率 | W/m-K | 0.065 | 0.065 | 0.092 |
| 絶縁耐力 | kV | 46 | >40 | 40 |
| 電気抵抗率 | Ohm-cm | 4.0 x 10-15 | 4.0 x 10-15 | データなし |
| 平均分子量 | g/mol | 650 | 650 | 550 |
| 引火点 | なし | なし | なし | |
| オゾン層破壊係数 | 0 | 0 | 0 | |
| 地球温暖化係数 | >5000 | 6000 | 175 |
材料適合性
ほとんどの金属、プラスチック、エラストマーと適合します。
コンプライアンス
OSHA危険有害性情報伝達基準（29 CFR 1910.1200）では分類されていません。
輸送規制における海洋汚染物質ではありません。
米国毒性物質規制法（TSCA）インベントリーに掲載されています。
梱包
ジャグ（5kg）
ペール（20kg）
ドラム（250kg）
使用期限と保管方法
使用期限は、元の包装材を使用し、通常の条件下で保管した場合、製造日から60ヶ月です。