TMC-3283 は、無色透明で熱安定性に優れた完全フッ素化液体であり、半導体製造業界における多くの単相熱伝達用途に最適です。そのため、エッチング装置、イオン注入装置、テスターなどに最適な冷媒用途のフッ素溶剤です。
TMC-3283 は主に単一化合物で構成されているため、その組成は経時的に変化したり分留したりすることはありません。そのため、溶剤のロスを最小限に抑え、冷媒特性が経時的に変化することを防ぎます。
用途
- 冷媒
- 誘電槽
- エレクトロニクス
- 半導体製造
物理的特性の比較
| 特性 | 単位 | 3M™ FC-3283 | TMC-3283 | TMC-3283E |
| タイプ | 旧製品 | 代替品 | 同等品 | |
| 形態 | 液体 | 液体 | 液体 | |
| 色 | 無色 | 無色 | 無色 | |
| 臭気 | 無臭 | 無臭 | 無臭 | |
| 沸点 | °C | 128 | 128 | 128 |
| 流動点 | °C | -65 | -65 | -65 |
| 密度 | kg/m3 | 1820 | 1820 | 1830 |
| 動粘度 | cSt | 0.75 | 0.75 | 1.9 |
| 蒸気圧 | psi | 1.2 | 1.2 | 3.46 |
| 比熱 | J/kg-K | 1100 | 1100 | 1431 |
| 蒸発潜熱 | J/g | 78 | 78 | 136 |
| 熱膨張係数 | 1/°C | 0.0014 | 0.0014 | 0.0013 |
| 熱伝導率 | W/m-K | 0.066 | 0.066 | 0.0834 |
| 絶縁耐力 | kV | >40 | >40 | 44 |
| 電気抵抗率 | Ohm-cm | 1015 | 1015 | 1012 |
| 平均分子量 | g/mol | 521 | 521 | 500 |
| 水溶性 | ppmw | 7 | 7 | 20 |
| オゾン層破壊係数 | 0 | 0 | 0 | |
| 地球温暖化係数 | >5000 | >5000 | 118 |
性能
| 試験規格 | 温度 | 結果 | |
| 沸点°C | OECD TG 103 | -- | 127°C |
| 流動点 °C | ASTM D-97 | -- | <-50°C |
| 絶縁耐力, 0.1’’ gap | ASTM D-877 | 20°C | 43.1KV |
| 60°C | 42.3KV | ||
| 粘度 (cSt) (-20°C~80°C) |
ASTM D-445 | -20°C | 2.76 |
| -10°C | 1.98 | ||
| 0°C | 1.65 | ||
| 10°C | 1.35 | ||
| 20°C | 0.94 | ||
| 30°C | 0.76 | ||
| 40°C | 0.65 | ||
| 50°C | 0.54 | ||
| 60°C | 0.47 | ||
| 70°C | 0.44 | ||
| 80°C | 0.4 | ||
| 蒸気圧 (kPa) °C | ASTM D-323 | 25°C | 1.4 |
| 60°C | 7.1 | ||
| 80°C | 12.6 |
材料適合性
TMC-3283 は、ほとんどの金属、プラスチック、エラストマーと互換性があります。
コンプライアンス
米国有害物質規制法（TSCA）インベントリーに掲載されています。
SARA Title III（EPCRA）報告規制の対象外です。
EU RoHS指令（EU）2015/863（指令2011/65/EUのAnnex II改訂）に準拠しています。
EU規則1907/2006 REACHに準拠しています。
梱包
ジャグ（5kg）
ペール（20kg）
ドラム（250kg）
使用期限と保管方法
使用期限は、元の包装材を使用し、通常の条件下で保管した場合、製造日から60ヶ月です。